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| CdSe波片6～12μm波段增透膜研究 | |
| 作者姓名： | 杨明 杨辉 张志勇 田文 明仕文 张敏 曾体贤 |
| 作者单位： | 西华师范大学物理与空间科学学院,南充 637002;中国科学院国家天文台,北京 100012 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(U1731123);四川省教育厅项目(18ZB0577);四川省科技厅项目(19KPPX0241) |
| 摘 要： | 采用垂直无籽晶气相升华法生长出直径37 mm的优质硒化镉(CdSe)单晶体,并沿光轴方向切割出20 mm×20 mm×3 mm的CdSe波片初胚。经研磨和抛光,在2～20μm波段CdSe波片的红外透过率约为70%。为进一步提高波片的透过率,采用Essential-Macleod软件辅助设计方案,选用YF3和ZnS为双层增透膜材料,并获得最佳的膜系厚度。镀膜后的CdSe波片在6～12μm波段透过率达到90%,在10.5μm处的透过率最高,峰值高达99%。 |
| 关 键 词： | 硒化镉波片 增透膜 红外透过率 |
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