超宽禁带半导体材料——氮化铝单晶 |
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引用本文: | 王琦琨.超宽禁带半导体材料——氮化铝单晶[J].人工晶体学报,2020,49(7):1. |
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作者姓名: | 王琦琨 |
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作者单位: | 奥趋光电技术(杭州)有限公司 |
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摘 要: | 正氮化铝是极具应用潜力的超宽禁带半导体材料,具有很多优良的性质,如其禁带宽度高达6.2 eV,同时具有高击穿场强、高饱和电子漂移速率、高化学和热稳定性,及高导热、抗辐射等优异性能,因此氮化铝是紫外/深紫外LED、紫外LD最佳衬底材料,也是高功率、高频电子器件理想衬底材料。此外,氮化铝具有优良的压电性、高的声表面波传播速度和较高的机电耦合系数,是GHz级声表面波器件的优选压电材料。
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