PSⅡ系统中微波ECR等离子体的朗缪尔探针诊断

用朗缪尔探针对一个新颖的双谐振腔多功能PSⅡ系统的微波ECR等离子体进行了诊断，得出了会切场中工作气体压强和微波功率对等离子体密度和电子温度的影响，及真空室内等离子体的分布。