|
|||||
|
|
| PSⅡ系统中微波ECR等离子体的朗缪尔探针诊断 | |
| 引用本文： | 王金刚,邓新绿,刘天伟,孙超,徐军.PSⅡ系统中微波ECR等离子体的朗缪尔探针诊断[J].核聚变与等离子体物理,2004,24(4):311-314. |
| 作者姓名： | 王金刚 邓新绿 刘天伟 孙超 徐军 |
| 摘 要： | 用朗缪尔探针对一个新颖的双谐振腔多功能PSⅡ系统的微波ECR等离子体进行了诊断，得出了会切场中工作气体压强和微波功率对等离子体密度和电子温度的影响，及真空室内等离子体的分布。 |
| 关 键 词： | 诊断 微波功率 影响 室内 对等 多功能 谐振腔 朗缪尔探针 等离子体 电子温度 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |