| 液晶显示用 a-Si TFT 有源矩阵制作技术 |
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| 引用本文： | 屈惠明,赵伟.液晶显示用 a-Si TFT 有源矩阵制作技术[J].光电子技术,1992(3). |
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| 作者姓名： | 屈惠明 赵伟 |
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| 作者单位： | 南京电子器件研究所，南京电子器件研究所 |
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| 摘 要： | 本文通过对液晶显示用α-Si TFT 的工作原理、工作特性分析,讨论了α-Si TFT 有源矩阵结构设计和汇线电阻、电容对α-Si TFT-LCD 的影响。介绍了α-Si TFT 有源矩阵的制作工艺。
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| 关 键 词： | 有源矩阵 TFT LCD |
Preparation Technology of a-Si TFT Active Matrix for LCDs |
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| Qu Huimin Zhao Wei.Preparation Technology of a-Si TFT Active Matrix for LCDs[J].Optoelectronic Technology,1992(3). |
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| Authors: | Qu Huimin Zhao Wei |
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| Institution: | Nanjing Electron Devices Institutc |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | active matrix thin flim transistor liquid crystal display |
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