| 多光束在分形粗糙表面散射的仿真 |
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| 引用本文： | 徐敬波,蒋庄德,赵玉龙,宋康. 多光束在分形粗糙表面散射的仿真[J]. 光子学报, 2006, 35(12): 1925-1929 |
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| 作者姓名： | 徐敬波 蒋庄德 赵玉龙 宋康 |
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| 作者单位： | 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室,精密工程研究所,西安,710049;西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室,精密工程研究所,西安,710049;西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室,精密工程研究所,西安,710049;西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室,精密工程研究所,西安,710049 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划) , 教育部科学技术研究重点项目 |
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| 摘 要： | 采用矩量法(MOM),分析了多光束在分形粗糙导体表面的散射分布.对在不同入射角、光束宽度控制因子、光束照射区宽度、表面均方根高度和表面分维数情况下的散射进行了数值仿真.仿真结果表明了各参量的变化对散射分布的影响.根据仿真计算结果给出了最佳的散射测量区域,为减少多光束测量的误差提供了一定的参考.
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| 关 键 词： | 形貌检测 散射 分形粗糙表面 数值仿真 |
| 收稿时间： | 2005-08-01 |
| 修稿时间： | 2005-08-01 |
Simulation on the Scattering from Fractal Rough Surface with Multi-light Beam |
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| Xu Jingbo,Jiang Zhuangde,Zhao Yulong,Song Kang. Simulation on the Scattering from Fractal Rough Surface with Multi-light Beam[J]. Acta Photonica Sinica, 2006, 35(12): 1925-1929 |
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| Authors: | Xu Jingbo Jiang Zhuangde Zhao Yulong Song Kang |
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| Affiliation: | State Key Laboratory for Mechanical Manufacturing System,Institute of Precision Engineering,
Xi′an Jiaotong University,Xi′an 710049 |
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| Abstract: | Multi-light beam scattering from fractal rough surface based on method of moment was studied.In order to investigate scattering field of multi-light beam with different incident angle,the tapering parameter,illumination region,rms height and fractal dimension,and numerical simulation were carried out.The results of simulation show some relationship between distribution of scattering field and these parameters.It could provide reference to decrease the error for multi-light measurement. |
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| Keywords: | Shape measure Scattering Fractal rough surface Numerical simulation |
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