| Si_（1－x）Ge_x／Si脊形波导X型分支器的研制 |
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| 引用本文： | 高勇,刘恩科,李国正,刘西钉.Si_（1－x）Ge_x／Si脊形波导X型分支器的研制[J].光学学报,1995,15(2):252-254. |
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| 作者姓名： | 高勇 刘恩科 李国正 刘西钉 |
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| 作者单位： | 西安交通大学电子工程系,复旦大学应用表面物理国家重点实验室,西安理工大学 |
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| 摘 要： | 采用分子束外延方法制作低损耗Ｓｉ１－ｘＧｅ／Ｓｉ异质结脊形光波导,在Ｘ型交叉波导上实现了Ｓｉ１－ｘＧｅｘ／Ｓｉ光分支器的功能．设计中采用了ＳｉＧｅ大截面脊形波导的单模条件和交叉波导传输特性分析的结果．Ｘ型光分支器的实现为进一步研制Ｓｉ１－ｘＧｅｘ／Ｓｉ光开关和光电调制器积累了经验．
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| 关 键 词： | Si_（1－x）Ge_x／Si异质结 脊形波导 光分支器 |
| 收稿时间： | 1994/3/29 |
Fabrication of SiGe Rib Waveguides X Branches |
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| Gao Yong, Liu Enke, Li Guozheng.Fabrication of SiGe Rib Waveguides X Branches[J].Acta Optica Sinica,1995,15(2):252-254. |
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| Authors: | Gao Yong Liu Enke Li Guozheng |
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| Abstract: | Based on the realization of low loss Si1-xGex/Si single-mode rib waveguides,we developed the Si1-xGex/Si "X" branches with the cross waveguides. These structures were fabricated from SiGe grown by molecular beam epitaxy (MBE). The branchesdemensions are determined by Si1-xGex/Si large single-mode conditions and propagationfeatures of the "X" cross waveguides using the beam propagstion and effective indexmethod. |
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| Keywords: | Si_(1-x)Ge_x/Si hetero-junction rib waveguide branches |
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