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| 面向21世纪的纳米电子/纳米光电子技术 | |
| 引用本文： | 程开富.面向21世纪的纳米电子/纳米光电子技术[J].世界电子元器件,2002(2):30-31. |
| 作者姓名： | 程开富 |
| 作者单位： | 信息产业部电子第44研究所 |
| 摘 要： | 引言 信息社会对集成电路的集成度要求越来越高,促使人们不断探索能够突破器件尺寸极限的途径。纳米电子学和纳米光电子学在此背景下应运而生。 纳米电子学 1.纳米电子学的基本概念 |
| 关 键 词： | 21世纪 纳米电子 纳米光电子技术 |
Nano Meter Electronic/Nano Meter Optoelectronic Technology in The 21 th |
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