| 纳米复合超硬薄膜中与界面有关的弛豫现象 |
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| 作者姓名： | 方前锋 刘庆 李朝升 李世直 Veprek S. |
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| 作者单位： | 中国科学院固体物理研究所,材料物理重点实验室,合肥,230031 中国科学院固体物理研究所,材料物理重点实验室,合肥,230031 中国科学院固体物理研究所,材料物理重点实验室,合肥,230031 青岛科技大学,山东 青岛 266042 Institute for Chemistry of Inorganic Materials,Technical University Munich,D-85747,Germany |
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| 摘 要： | 利用内耗技术研究了TiSiN系列纳米复合超硬薄膜的结构弛豫和硬化机理.当共振频率大约在100 Hz时在230～280 ℃范围内观察到一个弛豫型的内耗峰.计算出激活能为0.7～1.0 eV,弛豫时间指数前因子为10-10～10-12秒.对比一系列样品,发现硬度越高内耗峰越低,在硬度高于50 GPa的薄膜中没有内耗峰.内耗峰随退火温度升高而不断降低,直至600～750 ℃退火时消失, 并且杨氏模量开始增加,这跟样品退火后硬度增长是一致的.结果表明内耗峰来源于样品中界面的弛豫过程.
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| 关 键 词： | 超硬薄膜 TiSiN 内耗 界面 |
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