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| 电子束作图装置HL—600系列 | |
| 引用本文： | 内田文雄 ,藤安辰雄 ,鉾谷义雄 ,王文澄.电子束作图装置HL—600系列[J].微细加工技术,1986(4). |
| 作者姓名： | 内田文雄 藤安辰雄 鉾谷义雄 王文澄 |
| 摘 要： | 随着集成电路器件微细化的进展,采用电子束作图装置就越来越显得必要了。这种装置以往用来制作集成电路图形原版的掩模和一次版,其微细性和高精度已被人们所重视。最近,它作为直接在圆片上曝光制作集成电路图形的装置,与QTAT以及尖端器件的一部分微细图形加工用的装置——缩小投影曝光装置等混合使用了。为了探讨电子 |
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