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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
四氯化钛和氨合成氮化钛气相沉积CVD反应的量子化学研究
作者姓名:
黄婷婷
谭凯
林梦海
张乾二
作者单位:
厦门大学化学系厦门 361005
摘 要:
在DFT-B3LYP/6-311g*水平下,我们研究了TiCl
4
和NH
3
.的气相沉积(CVD)生成TiN反应,揭示其相应的能量和反应机理。进一步探讨了其二聚和多聚反应过程,计算结果表明多聚可以降低HCl消去反应的能量。还基于计算所得能量比较了两类Ti
4+
到Ti
3+
还原反应的可能途径。
关 键 词:
CVD
聚合
还原
收稿时间:
2006-10-08
修稿时间:
2007-03-27
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