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| 四氯化钛和氨合成氮化钛气相沉积CVD反应的量子化学研究 | |
| 引用本文： | 黄婷婷,谭凯,林梦海,张乾二.四氯化钛和氨合成氮化钛气相沉积CVD反应的量子化学研究[J].中国化学,2007,25(7). |
| 作者姓名： | 黄婷婷 谭凯 林梦海 张乾二 |
| 作者单位： | 厦门大学化学系厦门 361005 |
| 摘 要： | 在DFT-B3LYP/6-311g*水平下，我们研究了TiCl4和NH3.的气相沉积（CVD）生成TiN反应，揭示其相应的能量和反应机理。进一步探讨了其二聚和多聚反应过程，计算结果表明多聚可以降低HCl消去反应的能量。还基于计算所得能量比较了两类Ti4+到Ti3+还原反应的可能途径。 |
| 关 键 词： | CVD 聚合 还原 |
| 收稿时间： | 2006-10-8 |
| 修稿时间： | 2007-3-27 |
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