| 偏光干涉在物体几何形貌检测中的应用 |
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| 引用本文： | 高翔,张国雄,李真. 偏光干涉在物体几何形貌检测中的应用[J]. 光学学报, 2002, 22(4): 52-455 |
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| 作者姓名： | 高翔 张国雄 李真 |
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| 作者单位： | 天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室,天津,300072 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金 (5 0 0 75 0 6 4 )资助课题 |
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| 摘 要： | 提出了一种应用晶体光学原理的新型物体几何形貌检测方法，介绍了新方法涉及到的晶体偏光干涉的原理，以及基于这个原理的形貌信号检测方法，并通过实验得到新方法的测量精度约为5μm，测量范围约为7mm，且具有较好的动态特性。
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| 关 键 词： | 偏光干涉 光学非接触测量 晶体光学 物体几何形貌检测 |
Application of Conoscopic Interference in Geometric Profilometry |
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| Gao Xiang Zhang Guoxiong Li Zhen. Application of Conoscopic Interference in Geometric Profilometry[J]. Acta Optica Sinica, 2002, 22(4): 52-455 |
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| Authors: | Gao Xiang Zhang Guoxiong Li Zhen |
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| Abstract: | A new method that make use of the theory and techniques of crystal optics for geometric profilometry is presented. The theory of the conoscopic interference of crystal optics related with the new method is introduced, and the application of the new method in geometric profilometry is studied and some experimental results are given. |
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| Keywords: | birefringence of anisotropic crystals conoscopic interference no contact measuring |
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