| 闭空间气源对器件真空性能的影响 |
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| 引用本文： | 成永东,李明光.闭空间气源对器件真空性能的影响[J].真空电子技术,2007(2):35-37. |
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| 作者姓名： | 成永东 李明光 |
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| 作者单位： | 电子科技大学,物理电子学院,四川,成都,610054 |
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| 摘 要： | 在电真空器件的设计制造过程中,可能会遇到一种缺陷--管壁中闭空间气源,闭空间中的气体将通过微漏孔对器件真空性能产生重大影响.针对这一缺陷,建立了几种可能状态下器件的真空模型,指出了解决该缺陷的方法和依据.
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| 关 键 词： | 电真空器件 模型 漏气 压强 |
| 文章编号： | 1002-8935(2007)02-0035-03 |
| 修稿时间： | 2006年12月25 |
The Effect of Closed Space Gas upon Vacuum Devices |
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| CHENG Yong-dong,LI Ming-guang.The Effect of Closed Space Gas upon Vacuum Devices[J].Vacuum Electronics,2007(2):35-37. |
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| Authors: | CHENG Yong-dong LI Ming-guang |
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| Abstract: | In the process of designing and manufacturing a vacuum device,there may be a defect in the inside wall with a closed space.Gas will leak from the closed space,and it will have a strong impact on the vacuum device.In view of the defect,several possible vacuum models and the solutions to the defect were presented in the paper. |
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| Keywords: | Vacuum device Leakage Pressure |
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