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| 一维任意电荷浓度分布引起的电势" | |
| 作者姓名： | 茹国平 |
| 作者单位： | 复旦大学微电子学院 |
| 摘 要： | 以氧化层电荷非均匀分布的MOS结构为例,介绍求解一维任意电荷浓度分布电势的3种方法——电势叠加法、积分区间变换法和掺杂矩法,并讨论它们的等价性.重点介绍了掺杂矩法在非均匀掺杂n~+p结C-V测试、非均匀掺杂MOSFET阈值电压计算中的应用,并讨论了变容管、MOSFET倒掺杂等原理. |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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