| 射频微机械开关的计算机辅助设计 |
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| 引用本文： | 魏华征,郭方敏,赖宗声,朱守正,朱自强,李小卫,程知群,孙晓玮.射频微机械开关的计算机辅助设计[J].半导体学报,2002,23(9):947-951. |
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| 作者姓名： | 魏华征 郭方敏 赖宗声 朱守正 朱自强 李小卫 程知群 孙晓玮 |
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| 作者单位： | 1. 华东师范大学信息科学技术学院,上海,200062;2. 中国科学院上海冶金研究所,传感技术联合开放实验室,上海,200050 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划);G199903310-5; |
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| 摘 要： | 应用计算机辅助设计(CAD)方法模拟设计一种射频微机械(RF-MEMS)开关.用Agilent ADS软件模拟分析了共面波导的传输线损耗和MEMS开关的等效电路模型,并应用ANSYS软件模拟开关的驱动电压,得到了35GHz工作频率的并联电容式MEMS开关一些有意义的理论分析结果.
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| 关 键 词： | 并联电容式开关 微电子机械系统(MEMS) 共面波导 ADS软件 ANSYS软件 |
| 文章编号： | 0253-4177(2002)09-0947-05 |
| 修稿时间： | 2001年12月13日 |
Computer-Aided Design of RF-MEMS Switch |
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| Wei Huazheng ,Guo Fangmin ,Lai Zhongsheng ,Zhu Shouzheng ,Zhu Ziqiang ,Li Xiaowei ,Cheng Zhiqun and Sun Xiaowei.Computer-Aided Design of RF-MEMS Switch[J].Chinese Journal of Semiconductors,2002,23(9):947-951. |
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| Authors: | Wei Huazheng Guo Fangmin Lai Zhongsheng Zhu Shouzheng Zhu Ziqiang Li Xiaowei Cheng Zhiqun and Sun Xiaowei |
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| Institution: | Wei Huazheng 1,Guo Fangmin 1,Lai Zhongsheng 1,Zhu Shouzheng 1,Zhu Ziqiang 1,Li Xiaowei 2,Cheng Zhiqun 2 and Sun Xiaowei 2 |
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| Abstract: | A RF MEMS switch is designed by computer aided design (CAD) method.The transmission line loss of the coplanar waveguide (CPW) and the equivalent circuit model of the microelectromechanical systems (MEMS) switch are simulated using Agilent ADS software.The actuation voltage of the switch is also analysed by ANSYS software.Significant simulation results of the shunt capacitive switch,operating at 35GHz,are obtained. |
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| Keywords: | shunt capacitive switch MEMS CPW ADS ANSYS |
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