| 微型泵的驱动技术 |
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| 引用本文： | 辛芳,刘岩海.微型泵的驱动技术[J].电子器件,2001,24(1):87-92. |
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| 作者姓名： | 辛芳 刘岩海 |
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| 作者单位： | 东南大学微电子中心. |
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| 摘 要： | 本文通过对近几年来各类微型泵研究的比较，从微型泵设计的关键技术－驱动方式的角度进行考虑，着重以压电致动泵，热气致动泵，电磁致动泵和记忆合金振膜泵等微型泵进行讨论。
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| 关 键 词： | 微型泵 MEMS 驱动技术 微机电系统 |
| 文章编号： | 1005-9490(2001)01-0087-06 |
| 修稿时间： | 0200年11月13 |
Driving Technology of Micropumps |
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| DING Xinfang,LIU Yanhai.Driving Technology of Micropumps[J].Journal of Electron Devices,2001,24(1):87-92. |
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| Authors: | DING Xinfang LIU Yanhai |
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| Abstract: | Different researches of micropumps are compared in this paper. Considering the driving mode of micropumps, we discuss several kinds of micropumps:piezo pump, thermopneumatic pump, electromagnetic pump and memory alloy pump. They will be described respectively. |
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| Keywords: | micropump MEMS driving technology |
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