| 单壁碳纳米管随机网络场效应晶体管 |
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| 引用本文： | 许高斌,王鹏,陈兴,常永嘉.单壁碳纳米管随机网络场效应晶体管[J].微纳电子技术,2010,47(9). |
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| 作者姓名： | 许高斌 王鹏 陈兴 常永嘉 |
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| 作者单位： | 合肥工业大学,电子电子科学与应用物理学院,安徽省微电子机械系统工程技术研究中心,合肥,230009 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目，安徽省自然科学基金 |
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| 摘 要： | 使用超声分散CVD法合成的商用单壁碳纳米管(SWCNT),利用匀胶机把分散获得的、含有SWCNT的悬浮液均匀旋涂于SiO2/Si基上,利用萌罩式电子束蒸发技术在碳纳米管随机网络薄膜表面制备漏源Au电极。该制备技术避免了碳纳米管器件更多的化学接触,有效确保碳纳米管的纯度。该碳纳米管场效应晶体管器件采用重掺杂Si作为背栅、SWCNT随机网络薄膜为导电沟道。在室温环境下利用Keithley-4200对器件性能进行了测试分析,器件开启电流约为1μA,峰值跨导为326nS。该方法制备的SWCNT随机网络场效应晶体管,具有工艺实现简单、器件性能稳定、重复性和一致性好等特点,并可以用于构建CNT逻辑电路。该技术对于研究低成本、大规模基于CNT的集成电路来说,具有较高的借鉴价值。
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| 关 键 词： | 单壁碳纳米管随机网络 场效应晶体管 超声分散 萌罩式电子束蒸发 背栅 |
Singled-Walled Carbon Nanotubes Random Networks Field Effect Transistors |
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| Xu Gaobin,Wang Peng,Chen Xing,Chang Yongjia.Singled-Walled Carbon Nanotubes Random Networks Field Effect Transistors[J].Micronanoelectronic Technology,2010,47(9). |
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| Authors: | Xu Gaobin Wang Peng Chen Xing Chang Yongjia |
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| Institution: | Xu Gaobin,Wang Peng,Chen Xing,Chang Yongjia(Micro Electromechanical System Research Center of Engineering , Technology of Anhui Province,School of Electronic Science & Applied Physics,Hefei University of Technology,Hefei 230009,China) |
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| Abstract: | The commercial single-walled carbon nanotubes(SWCNTs) were fabricated by ultrasonic dispersion CVD methods.The suspending liquid with SWCNTs was spin-coated on SiO2/Si substrates,and the Au electrodes were deposited on the SWCNTs random networks thin films by shadow mask electron beam evaporation.More chemistry contact with the SWCNTs could be avoided by using the shadow mask electron beam evaporation technology,and the purity of the SWCNTs was ensured effectively.The SWCNTs random networks field effect tra... |
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| Keywords: | SWCNTs random network field effect transistor ultrasonic dispersion shadow mask electron beam evaporation back-gate |
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