| 射频感应耦合低压等离子体特性分析 |
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| 引用本文： | 高鹏,陈俊芳,冯军勤. 射频感应耦合低压等离子体特性分析[J]. 光散射学报, 2013, 25(3): 297 |
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| 作者姓名： | 高鹏 陈俊芳 冯军勤 |
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| 作者单位： | 1. 华南师范大学物理与电信工程学院量子信息技术重点实验室,广州,510631
2. 华南师范大学物理与电信工程学院量子信息技术重点实验室,广州510631;华南师范大学实验中心,广州510631 |
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| 基金项目： | 广东省自然科学基金，国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 采用光谱诊断法和Langmuir单探针法对射频感应耦合Ar气等离子体特性进行分析。通过光栅光谱仪研究了低气压下Ar气等离子体的光谱强度的变化特性,采用Langmuir单探针法测量不同条件下电子密度和电子温度。等离子体发射光谱的光谱强度随着气压和功率的增加而增强,射频功率对光谱强度的影响较明显。当功率从120W增加到180W时,光谱强度将会迅速增加,等离子体发生E模向H模的模式转换。Langmuir单探针法测量的电子密度和电子温度在的变化规律符合E模向H模转换的变化规律。
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| 关 键 词： | 感应耦合等离子体 发射光谱 Langmuir探针 模式转换 |
| 收稿时间： | 2013-06-25 |
Analysis on Characteristic of Inductively Coupled low-Pressure Plasma |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | inductively coupled plasma optical emission spectroscopy Langmuir probe mode conversion |
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