| ZrO2薄膜微结构及其抗激光损伤特性研究 |
| |
| 引用本文： | 刘安平,韩伟峰,黄茂,罗庆春.ZrO2薄膜微结构及其抗激光损伤特性研究[J].红外与毫米波学报,2010,29(5):333-336. |
| |
| 作者姓名： | 刘安平 韩伟峰 黄茂 罗庆春 |
| |
| 作者单位： | 1. 重庆大学,应用物理系,重庆,400030
2. 重庆光电研究所,重庆,400060 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(10774196)，重庆市科委自然科学基金资助项目(2007BB2120)。 |
| |
| 摘 要： | 通过分析ZrO2薄膜电子束沉积时氧压、衬底转动及温度对薄膜相结构、晶粒尺寸和粗糙度的影响,对ZrO2薄膜微结构特性与抗激光诱导损伤性能的关系进行了研究.ZrO2薄膜衬底无转动沉积时晶体以四方相为主,而转动沉积时形成具有较高激光损伤阈值的单斜相结构.薄膜晶粒尺寸和粗糙度均随氧压的升高而减小,四方相受氧压影响变化明显高于单斜相,氧压的继续升高使多晶形态向非晶形态逐渐转变.多晶结构的损伤阈值随着晶粒尺寸的减小而增高,薄膜表面粗糙度随着沉积温度的升高略有增加,且多晶结构的损伤阈值明显要高于非晶结构,ZrO2薄膜损伤阈值(E)与粗糙度(σ)基本符合关系:Eσα=β(α=1.41,β=2.25).
|
| 关 键 词： | ZrO2薄膜 电子束蒸发 氧分压 激光损伤阈值 |
| 收稿时间： | 2009/6/29 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2009/8/12 0:00:00 |
MICROSTRUCTURE AND RESISTING LASER DAMAGE PROPERTY OF ZrO2 FILMS |
| |
| LIU An-Ping,HAN Wei-Feng,HUANG Mao and LUO Qin-Chun.MICROSTRUCTURE AND RESISTING LASER DAMAGE PROPERTY OF ZrO2 FILMS[J].Journal of Infrared and Millimeter Waves,2010,29(5):333-336. |
| |
| Authors: | LIU An-Ping HAN Wei-Feng HUANG Mao and LUO Qin-Chun |
| |
| Institution: | Chongqing University,Chongqing Optoelectronics Research Institute,Chongqing Optoelectronics research Institute,Chongqing Optoelectronics research Institute |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | ZrO2 Film Evaporating and depositing with the electron beams Oxygen pressure Laser damage threshold |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《红外与毫米波学报》浏览原始摘要信息 |
| 点击此处可从《红外与毫米波学报》下载免费的PDF全文 |
|
