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| 热处理对GeSb2Te4薄膜微观结构及其摩擦性能的影响 | |
| 引用本文： | 解国新,丁建宁,范真,付永忠,朱守星,万春磊.热处理对GeSb2Te4薄膜微观结构及其摩擦性能的影响[J].摩擦学学报,2006,26(2):108-112. |
| 作者姓名： | 解国新 丁建宁 范真 付永忠 朱守星 万春磊 |
| 作者单位： | 1. 江苏大学,微纳米技术研究中心,江苏,镇江,212013 2. 东华大学,机械工程学院,上海,200051 3. 清华大学,材料工程系,北京,100084 |
| 基金项目： | 教育部全国优秀博士学位论文作者专项基金，江苏大学校科研和教改项目，江苏省建设厅科研项目 |
| 摘 要： | 利用射频溅射法制备了GeSb2Te4薄膜并对其进行热处理,分析热处理前后样品的结晶情况,用纳米硬度计测定硬度,利用静电力显微镜表征样品的表面电势,采用原子力显微镜观察薄膜表面形貌,利用侧向力显微镜对比考察了在考虑相对湿度的情况下,热处理前后GeSb2Te4薄膜的粘附力和摩擦性能.结果表明:经过退火的沉积态GeSb2Te4薄膜发生从非晶相到fcc亚稳相再到hex稳定相转变;粘附力与表面粗糙度之间没有明显的对应关系,但与样品表面自由能和表面电势有一定关系;在低载荷下GeSb2Te4薄膜的摩擦力很大程度上受粘附力支配,而在高载荷下的摩擦力受犁沟影响显著;经过340 ℃退火GeSb2Te4薄膜由于具有层状结构,呈现出一定的润滑作用. |
| 关 键 词： | GeSb2Te4薄膜 热处理 表面电势 粘附力 摩擦性能 |
| 文章编号： | 1004-0595（2006）02-0108-05 |
| 收稿时间： | 2005-05-09 |
| 修稿时间： | 2005-09-30 |
Effect of Heat-treatment on Microstructure and Frictional Properties of GeSb2Te4 Thin Films |
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| XIE Guo-xin,DING Jian-ning,FAN Zhen,FU Yong-zhong,ZHU Shou-xing,WAN Chun-lei.Effect of Heat-treatment on Microstructure and Frictional Properties of GeSb2Te4 Thin Films[J].Tribology,2006,26(2):108-112. | |
| Authors: | XIE Guo-xin DING Jian-ning FAN Zhen FU Yong-zhong ZHU Shou-xing WAN Chun-lei |
| Abstract: | |
| Keywords: | GeSb2Te4 films heat-treatment surface potential adhesion friction behavior |
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