| 电吸收调制器和DFB激光器一种改进的双有源层堆积集成方法 |
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| 引用本文： | 胡小华,李宝霞,朱洪亮,王宝军,赵玲娟,王鲁峰,王圩.电吸收调制器和DFB激光器一种改进的双有源层堆积集成方法[J].半导体学报,2004,25(5):481-485. |
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| 作者姓名： | 胡小华 李宝霞 朱洪亮 王宝军 赵玲娟 王鲁峰 王圩 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所光电子工艺中心 北京100083
(胡小华，李宝霞，朱洪亮，王宝军，赵玲娟，王鲁峰)，中国科学院半导体研究所光电子工艺中心 北京100083(王圩) |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划)
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国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 提出了一种改进型的双有源层堆积方法制作单片集成电吸收调制的 DFB激光器 ,报道了器件的制作过程和主要性能 ,初步结果为 :阈值电流 38m A ,激光器在 10 0 m A下出光功率 4 .5 m W左右 ,调制器消光比约 9d B(从+0 .5 V到 - 3.0 V) .对比此前国外报道的具有常规双量子阱堆层结构的器件结果 (出光功率仅 1.5 m W) ,我们制作的器件的出光功率有了明显的提高 .
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| 关 键 词： | 多量子阱 电吸收调制器 分布反馈激光器 单片集成 |
Monolithic Integration of Electro-Absorption Modulators and DFB Lasers by Modified Double Stack Active Layer Approach |
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| Hu Xiaohua,Li Baoxia,Zhu Hongliang,Wang Baojun,Zhao Lingjuan,Wang Lufeng,Wang Wei.Monolithic Integration of Electro-Absorption Modulators and DFB Lasers by Modified Double Stack Active Layer Approach[J].Chinese Journal of Semiconductors,2004,25(5):481-485. |
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| Authors: | Hu Xiaohua Li Baoxia Zhu Hongliang Wang Baojun Zhao Lingjuan Wang Lufeng Wang Wei |
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| Abstract: | Monolithic electro absorption modulated distributed feedback(DFB) lasers are proposed and fabricated by using a modified double stack active layer.The 38mA threshold,9dB extinction ratio (from 0 5V to 3 0V),and about 5mW output power at the 100mA operation current are achieved.Compared with other reported results (only 1 5mW at the same operation current) of the traditional stack active structure,the proposed structure improves the output power of devices. |
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| Keywords: | multiple quantum wells electro absorption modulators distributed feedback lasers monolithic integration |
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