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掺铝氧化锌(AZO)导电薄膜的研究进展
引用本文:张亚萍,李启甲.掺铝氧化锌(AZO)导电薄膜的研究进展[J].现代显示,2006(3):51-54.
作者姓名:张亚萍  李启甲
作者单位:陕西科技大学材料科学与工程学院,陕西,咸阳,712081
摘    要:综述透明导电薄膜的性能、种类、制备工艺、研究及应用状况,重点讨论掺铝氧化锌(AZO)薄膜的结构、导电机理、光电性能和当前的研究焦点。并指出,为了进一步提高透明导电薄膜的性能,应从以材料选择、制备工艺、多层膜光学设计等方面深入研发,以满足尖端技术的需要。

关 键 词:透明导电膜  掺铝氧化锌薄薄  多层膜设计
文章编号:1006-6268(2006)03-0051-04
收稿时间:2005-12-05
修稿时间:2005年12月5日

Recent Resaerch on AZO Conducting Films
ZHANG Ya-ping,LI Qi-jia.Recent Resaerch on AZO Conducting Films[J].Advanced Display,2006(3):51-54.
Authors:ZHANG Ya-ping  LI Qi-jia
Institution:School of Material Science and Engineering, ShannXi University of Science and Technology, ShanXi XianYang 712081,China
Abstract:The properties, varieties, preparation technologies, recent research advances on transparent and conducting films and their applications in various fields are described. Structure, electric mechanism, photoelectric properties and investigation focus of AZO film are emphasized. The properties of transparent and conducting films should be improved combined with optimized materials, researches on preparation technologies and multilager design in order to meet the spiry technology.
Keywords:transparent and conducting film  AZO films  multilager design
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