| 256×256Si微透镜阵列与红外焦平面阵列单片集成研究 |
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| 引用本文： | 陈四海,易新建,王宏臣,孔令彬,马宏.256×256Si微透镜阵列与红外焦平面阵列单片集成研究[J].红外与毫米波学报,2001,20(5):340-342. |
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| 作者姓名： | 陈四海 易新建 王宏臣 孔令彬 马宏 |
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| 作者单位： | 陈四海（华中科技大学激光技术国家重点实验室湖北武汉 430074）;易新建（华中科技大学激光技术国家重点实验室湖北武汉 430074）;王宏臣（华中科技大学激光技术国家重点实验室湖北武汉 430074）;孔令彬（华中科技大学激光技术国家重点实验室湖北武汉 430074）;马宏（华中科技大学激光技术国家重点实验室湖北武汉 430074） |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(编号60086003)资助项目 |
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| 摘 要： | 基于标量衍射理论设计了8位相菲涅尔衍射微透镜阵列.利用多次曝光和离子束刻蚀技术在大规模面阵(256×256)PtSi红外焦平面阵列的背面制作了单片集成微透镜阵列样品(单元面积为30μm×40μm).测试结果表明,单片集成微透镜的红外焦平面阵列样品的信噪比提高了2.0倍.
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| 关 键 词： | PtSi红外焦平面阵列 微透镜阵列 单片集成技术 标量衍射 信噪比 |
| 修稿时间： | 2000年12月14 |
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