| MPCVD法纳米金刚石膜的制备及分析 |
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| 引用本文： | 杨武保,吕反修,唐伟忠,佟玉梅,于文秀.MPCVD法纳米金刚石膜的制备及分析[J].人工晶体学报,2000,29(1):54-58. |
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| 作者姓名： | 杨武保 吕反修 唐伟忠 佟玉梅 于文秀 |
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| 作者单位： | 北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083 |
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| 摘 要： | 利用MPCVD方法在玻璃基片上成功的制备了非常光滑、致密均匀的纳米金刚石膜.沉积工艺分为两步:成核,CH4/H2=3;;生长,O2/CH4/H2=0.3:3:100;沉积过程中保持工作压力为4.0kPa,衬底温度500℃.拉曼、透射电镜、红外光谱、表面轮廓仪等的测试表明:膜层由纳米级金刚石晶粒组成,最大晶粒尺寸小于100nm,成核密度大于1011/cm2.成核面晶粒的点阵常数较大,表明存在较多缺陷,表面粗糙度小于2nm,在可见光区完全透明,红外光学性能接近金刚石单晶理论值.
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| 关 键 词： | MPCVD 纳米金刚石膜 拉曼光谱 红外光谱 |
| 文章编号： | 1000-985X(2000)01-0012-05 |
| 修稿时间： | 1999-11-08 |
Preparation and Characterization of Nanocrystalline Diamond Films by MPCVD Method |
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| YANG Wu-bao,LU Fan-xiu,TANG Wei-zhong,TONG Yu-mei,YU Wen-xiu.Preparation and Characterization of Nanocrystalline Diamond Films by MPCVD Method[J].Journal of Synthetic Crystals,2000,29(1):54-58. |
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| Authors: | YANG Wu-bao LU Fan-xiu TANG Wei-zhong TONG Yu-mei YU Wen-xiu |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MPCVD |
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