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单晶炉等径控制方法
引用本文：耀飞黔.单晶炉等径控制方法[J].LSI制造与测试,1992,13(6):10-15.
作者姓名：耀飞黔
摘    要：
关 键 词：半导体材料  单晶拉制  单晶炉  控制
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