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氟化镁薄膜的形成特点及镀膜工艺的最佳化
引用本文:В.П.Повещенко,Н.Г.Костюченко,В.В.Понкратов,В.М.Хололов,В.И.Мозгин,Ж.П.Трофимова,谭启坤.氟化镁薄膜的形成特点及镀膜工艺的最佳化[J].应用光学,1987(3).
作者姓名:В.П.Повещенко  Н.Г.Костюченко  В.В.Понкратов  В.М.Хололов  В.И.Мозгин  Ж.П.Трофимова  谭启坤
摘    要:在光学零件生产中广泛利用氟化镁单层增透膜。为了保证膜层强度,镀膜零件必须加热到300℃。镀膜所有工序中,占时间最长是加热到300℃,并在此温度下保温一段时间,随后冷却到100℃。在许多情况下,零件必须加热到300℃,并在此温度下保温30到40分钟。同时,在300℃温度下保温取决于零件的尺寸及外形。为了保证真空装置

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