| 状态机在离子注入机中的应用 |
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| 引用本文： | 罗宏洋.状态机在离子注入机中的应用[J].电子工业专用设备,2009,38(9):49-53. |
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| 作者姓名： | 罗宏洋 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团公司电子第四十八研究所,湖南长沙,410111 |
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| 摘 要： | 报告了在离子注入机控制软件建模时使用状态机的原因，以及控制软件的结构、状态机的层次结构和由状态机自动生成代码的方法，并介绍了应用状态机设计开发的离子注入机控制软件的优点。
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| 关 键 词： | 有限状态机 层次状态机 建模 |
Application of FSM in Ion Implanter |
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| LUO Hongyang.Application of FSM in Ion Implanter[J].Equipment for Electronic Products Marufacturing,2009,38(9):49-53. |
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| Authors: | LUO Hongyang |
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| Institution: | LUO Hongyang(The 48th Institute of CETC,Changsha 410111 China) |
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| Abstract: | The reason of using FSM in the ion implanter control software modeling is reported,the construction of control software and the hierarchy of FSM and the method of compiling FSM to C++ programs are reported also,and the advantage of the ion implanter control software designed by using FSM is introduced. |
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| Keywords: | FSM(finite state machine) HSM(Hierarchy State Machine) Modeling |
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