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| 椭偏法测膜厚的直接计算方法 | |
| 作者姓名： | 吴永汉 窦菊英 |
| 作者单位： | 云南大学物理系!昆明，650091，云南大学物理系!昆明，650091 |
| 摘 要： | 改进了椭偏法测薄膜折射率和膜厚的迭代计算方法，由测量得到的起偏角A和检偏角P直接算出薄膜折射率和膜厚． |
| 关 键 词： | 椭偏法 迭代计算 薄膜 折射率 膜厚 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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