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椭偏法测膜厚的直接计算方法
引用本文:
吴永汉,窦菊英.椭偏法测膜厚的直接计算方法[J].物理实验,1998,18(1):11-13.
作者姓名:
吴永汉
窦菊英
作者单位:
云南大学物理系!昆明,650091,云南大学物理系!昆明,650091
摘 要:
改进了椭偏法测薄膜折射率和膜厚的迭代计算方法,由测量得到的起偏角A和检偏角P直接算出薄膜折射率和膜厚.
关 键 词:
椭偏法
迭代计算
薄膜
折射率
膜厚
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