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| 电子束辅助热丝CVD法在Si（100）衬底上织构生长金刚石薄膜 | |
| 引用本文： | 傅广生,王晓辉.电子束辅助热丝CVD法在Si（100）衬底上织构生长金刚石薄膜[J].量子电子学,1996,13(5):456-457. |
| 作者姓名： | 傅广生 王晓辉 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 金刚石薄膜 硅 衬底 织构生长 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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