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| 用于1.55μm InGaAsP/InP DFB激光器的λ/4相移衍射光栅 | |
| 引用本文： | 缪育博,张静媛,王圩.用于1.55μm InGaAsP/InP DFB激光器的λ/4相移衍射光栅[J].半导体学报,1991,12(5):309-312. |
| 作者姓名： | 缪育博 张静媛 王圩 |
| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所 北京100083 (缪育博，张静媛)，中国科学院半导体研究所 北京100083(王圩) |
| 摘 要： | 采用全息二次曝光的方法,研制出用于 1.55μm InGaAsP/InP DFB激光器的,具有 λ/4相移的二级光栅,并通过扫描电镜(SEM)证明了相移的存在.本文分析了制备该种光栅的工艺原理,并提出了改善此种光栅质量的新方法. |
| 关 键 词： | DFB激光器 InGaAsP／InP 衍射光栅 |
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