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用螺旋波激发的氮—氧—氩等离子体氧化GaAs

引用本文：	蓉佳.用螺旋波激发的氮—氧—氩等离子体氧化GaAs[J].等离子体应用技术快报,2000(5):8-10.

作者姓名：	蓉佳

摘要：
关键词：	螺旋波激发氮－氧－氩等离子体氧化砷化镓
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