无衍射光莫尔条纹空间直线度误差的测量方法 |
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作者姓名: | 张新宝 赵斌 李柱 |
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作者单位: | 张新宝(华中理工大学机械科学与工程学院);赵斌(华中理工大学机械科学与工程学院);李柱(华中理工大学机械科学与工程学院) |
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基金项目: | 国家自然科学基金资助项目(59805006). |
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摘 要: | 将无衍射光与莫尔条纹技术相结合,发展了一种新的连续空间直线度误差测量技术.此方法利用了无衍射光和环状莫尔条纹的图像自定位基准特性.由于无衍射光的大光学口径和光学数值孔径,此方法适用于长、短距离连续空间直线度误差测量,并且测量系统具有体积小、操作简单、分辨率高等优点.
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关 键 词: | 测量方法 直线度误差 贝塞尔函数 莫尔条纹 无衍射光 |
文章编号: | 1000-8616(2000)07-0044-03 |
修稿时间: | 2000-01-06 |
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