| 双材料微梁阵列非制冷红外成像技术--微梁阵列热变形的光学读出 |
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| 引用本文： | 郭哲颖,段志辉,张青川,伍小平,董凤良,潘亮,陈大鹏,王玮冰.双材料微梁阵列非制冷红外成像技术--微梁阵列热变形的光学读出[J].实验力学,2005,20(Z1):4-10. |
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| 作者姓名： | 郭哲颖 段志辉 张青川 伍小平 董凤良 潘亮 陈大鹏 王玮冰 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学技术大学,中科院材料力学行为和设计重点实验室,合肥,230027
2. 北京微电子中心,北京,100029 |
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| 基金项目： | 本项目是在自然科学重点基金(10232030)和面上基金(50076040和10472111)的支持下完成的 |
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| 摘 要： | 针对双材料微梁阵列非制冷红外成像技术的光学读出系统,提出了在谱平面上进行刀口滤波将阵列转角转化为像平面上光强变化的高灵敏度测量技术,并对光学探测灵敏度进行了理论分析.利用该光学读出系统在实验中得到了120℃红外物体的热图像.通过对实验结果的分析和图像处理消除噪声技术,得到该系统在成像温度范围的噪声等效温度差(NETD)约为5K,并对系统噪声进行了讨论.
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| 关 键 词： | 双材料微悬臂梁 非制冷红外成像 光学读出 |
Bimaterial Micro-Cantilever Uncooled Infrared Imaging System Optical Readout Section |
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| GUO Zhe-Ying,DUAN Zhi-Hui,ZHANG Qing-Chuan,WU Xiao-Ping,DONG Fen-Liang,PAN Liang,CHEN Da-Peng,WANG Wei-Bing.Bimaterial Micro-Cantilever Uncooled Infrared Imaging System Optical Readout Section[J].Journal of Experimental Mechanics,2005,20(Z1):4-10. |
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| Authors: | GUO Zhe-Ying DUAN Zhi-Hui ZHANG Qing-Chuan WU Xiao-Ping DONG Fen-Liang PAN Liang CHEN Da-Peng WANG Wei-Bing |
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