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纳米尖端场离子化气体传感器的动态测试方法研究
引用本文:孟凡利,李民强,郭正,黄家锐,陈星,刘锦淮.纳米尖端场离子化气体传感器的动态测试方法研究[J].分析测试学报,2008,27(6):644-647.
作者姓名:孟凡利  李民强  郭正  黄家锐  陈星  刘锦淮
作者单位:1. 中国科学院,合肥智能机械研究所,仿生感知与先进机器人技术重点实验室,安微,合肥,230031;中国科学技术大学,化学系,安徽,合肥,230026
2. 中国科学院,合肥智能机械研究所,仿生感知与先进机器人技术重点实验室,安微,合肥,230031
基金项目:国家自然科学基金 , 国家高技术研究发展计划(863计划) , 国家重点基础研究发展计划(973计划) , 中国博士后科学基金
摘    要:制作了一种纳米尖端场离子化气体传感器,以氧化锌纳米尖端为阳极,钨针为阴极,采用皮安表向传感器提供输出波形可控的直流电源,测量流过器件的预击穿电流.由于采用了纳米尖端进行离子化,有效地降低了传感器的击穿电压,提高了传感器的离子化能力,而且避免了氧化锌材料以空气作为背景测试气体时的氧化问题.动态测试预击穿电流的方法提高了器件的实用性.实验结果显示该传感器对乙酸蒸气有较好的响应,而且可以做定量测量.所制场离子化气体传感器适于普通空气条件下的使用,具有良好的应用前景.

关 键 词:场离子化  动态测试  氧化锌  纳米尖端  预击穿电流  纳米  尖端场  离子化  气体传感器  动态测试  测试方法  研究  Gas  Sensor  Field  Ionization  Dynamic  Measurement  前景  应用  使用  空气条件  定量测量  响应  蒸气  乙酸  显示  结果

Study on the Dynamic Measurement of Nanotips Field Ionization Gas Sensor
MENG Fan-li,LI Min-qiang,GUO Zheng,HUANG Jia-rui,CHEN Xing,LIU Jin-huai.Study on the Dynamic Measurement of Nanotips Field Ionization Gas Sensor[J].Journal of Instrumental Analysis,2008,27(6):644-647.
Authors:MENG Fan-li  LI Min-qiang  GUO Zheng  HUANG Jia-rui  CHEN Xing  LIU Jin-huai
Abstract:
Keywords:
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