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熔体配比对SI GaAs单晶性能的影响
引用本文:
宋群厚.熔体配比对SI GaAs单晶性能的影响[J].半导体情报,1999,36(6):42-45.
作者姓名:
宋群厚
摘 要:
系统地讨论了熔体的配经与GaAs单晶质量之间的关系,尤其对半绝缘材料,光敏性能以及均匀性方面进行了分析,以期提高GaAs单晶的质量。
关 键 词:
配比
半绝缘
光敏性
砷化镓
熔体
单晶
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