表面分析用的离子散射能谱 |
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引用本文: | H.H.Brongersma,W.J.Schouten,和存平.表面分析用的离子散射能谱[J].微纳电子技术,1976(6). |
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作者姓名: | H.H.Brongersma W.J.Schouten 和存平 |
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摘 要: | 固体的离子散射是一个复杂的过程。然而,当选定一种特定的实验条件时,描述这一过程则可大为简化。对于非热离子而言,de Broglie 波长λ小于表面内原子间的距离。例如,1千电子伏的 Ne~ 离子,λ是0.002埃,而晶格的特征距离则为几个埃的数量级。由于有这么大的差别,因而与低能电子和光子散射不同,离子散射的许多性质可以用古典力学精确地加以描述。对于具有碰撞能为1千电子伏数量级的惰性气体离子,描述固体的离子散射则更简单。这些离子的中和几率很高。因为仅仅电离的粒子可用我们的分析器检知,所以,多次散射离子则不一定被检知。虽然在小散射角下有时观察到二
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