多通道半导体离子传感器的研究

本文采用半导体工艺、封装技术、表面化学修饰技术制备多道半导体离化感器，该离子传感器能同时输出三个稳定的信号，通过钾离子敏感膜的实验，结果表明，传感器的响应性能良好。