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| 利用干涉光刻和双光子聚合技术制造带有功能缺陷的二维光子晶体 | |
| 作者姓名： | 于烨 孙慧婷 宋正勋 王大鹏 翁占坤 蒋伊爽 |
| 摘 要： | 光子晶体是一种介电常数呈周期性变化的介质材料,它由介电常数不同的两种材料周期排列组成,因其周期性而产生了光子禁带,为了产生比较大的光子禁带宽度,这两种材料的介电常数比一般大于2,光子晶体可以使某一频段上的光波无法通过,继而达到滤波的目的.设计了在硅基底上制作六边形孔阵的二维光子晶体的方法,这个结构具有特殊的光学特性；经... |
| 关 键 词： | 光子晶体 干涉光刻 双光子聚合 |