| 硅微陀螺正交误差直流校正设计与分析 |
| |
| 引用本文： | 倪云舫,李宏生,杨 波,黄丽斌,赵立业,王 攀,刘 嘉.硅微陀螺正交误差直流校正设计与分析[J].中国惯性技术学报,2014(1):104-108. |
| |
| 作者姓名： | 倪云舫 李宏生 杨 波 黄丽斌 赵立业 王 攀 刘 嘉 |
| |
| 作者单位： | ;1.东南大学仪器科学与工程学院微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室 |
| |
| 摘 要： | 为硅微陀螺设计了一种正交误差直流校正方法,通过设计校正结构和加载直流电压实现正交校正。建立了存在正交误差时敏感质量的运动微分方程,分析明确了正交响应的成因和对驱动运动轨迹的影响。为硅微陀螺设计了正交校正结构,实现构建静电耦合弹性系数并利用驱动运动产生校正静电力。校正力的频率和相位无需电路控制,使该方法相较于传统校正方法具备特殊优势。设计并分析了校正电压的两种加载方式,通过实验测试验证了正交响应幅值随校正电压的变化规律。实测校正电压接近理论值,证明了校正结构设计的正确性。该方法在双线振动式硅微陀螺中具有重要应用价值。
|
| 关 键 词： | 硅微陀螺 正交误差 正交校正 直流电压 结构设计 |
Design and analysis of a quadrature correction method using DC voltages for silicon micro-gyroscope |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
|
