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| 磁场对PET表面碳氟等离子体改性的影响(Ⅰ) | |
| 引用本文： | 张亮,王玉,王建祺,胡建芳.磁场对PET表面碳氟等离子体改性的影响(Ⅰ)[J].吉林大学学报(理学版),1998(3). |
| 作者姓名： | 张亮 王玉 王建祺 胡建芳 |
| 作者单位： | 北京大学物理系介观物理国家重点实验室!北京，100871(张亮)，丹东师范专科学校电子工程系!丹东，118000(王玉)，北京理工大学化工与材料学院国家阻燃材料研究实验室!北京，100081(王建祺)，中央民族大学物理系!北京，100081(胡建芳) |
| 基金项目： | 国家自然科学基金，高等学校博士点基金 |
| 摘 要： | 利用变角XPS方法研究不同磁场条件下碳氟等离子体对PET表面的改性，并探讨了磁场对碳氟等离子体聚合的影响．实验结果表明，随磁场强度的增加，碳氟混合气体等离子体发生从聚合区域向刻蚀区域过渡的转折点向CF4含量低的方向移动；碳氟混合气体等离子体的不同作用区域的特征得到增强． |
| 关 键 词： | 碳氟等离子体 变角XPS 磁场 聚合 刻蚀 沉积速率 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |