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| 硅 SIMOX 单模脊形光波导研制 | |
| 引用本文： | 潘姬,谭雁,栗国星,赵鸿麟,杨恩泽.硅 SIMOX 单模脊形光波导研制[J].半导体学报,1994,15(2):115-118. |
| 作者姓名： | 潘姬 谭雁 栗国星 赵鸿麟 杨恩泽 |
| 作者单位： | 天津大学电子工程系 |
| 摘 要： | 本文描述硅光波导技术的重大突破：（１）用ＳＩＭＯＸ技术代替传统的硅外延型光波导，解决了衬底吸收光波．从而显著改善了光波导的传播损耗．（２）在理论及实验上均已解决用调整脊形的高宽比（高宽均能达１０微米左右），制取单模脊形光波导．这种光波导的下覆盖层是ＳｉＯ２，传播损耗小；断面积大，和单模光纤耦合良好．满足了光集成技术中对光波导的几项重要要求． |
| 关 键 词： | 光波导 研制 SIMOX技术 硅光波导 |
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