| 氮气流量对磁控溅射制备类金刚石薄膜性能的影响 |
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| 引用本文： | 王洪美,李玉芳,沈鸿烈,翟子豪,陈洁仪,杨家乐,杨艳. 氮气流量对磁控溅射制备类金刚石薄膜性能的影响[J]. 光子学报, 2019, 48(4): 104-110 |
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| 作者姓名： | 王洪美 李玉芳 沈鸿烈 翟子豪 陈洁仪 杨家乐 杨艳 |
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| 作者单位： | 南京航空航天大学材料科学与技术学院,江苏省能量转换材料与技术重点实验室,南京211100;南京航空航天大学材料科学与技术学院,江苏省能量转换材料与技术重点实验室,南京211100;南京航空航天大学材料科学与技术学院,江苏省能量转换材料与技术重点实验室,南京211100;南京航空航天大学材料科学与技术学院,江苏省能量转换材料与技术重点实验室,南京211100;南京航空航天大学材料科学与技术学院,江苏省能量转换材料与技术重点实验室,南京211100;南京航空航天大学材料科学与技术学院,江苏省能量转换材料与技术重点实验室,南京211100;南京航空航天大学材料科学与技术学院,江苏省能量转换材料与技术重点实验室,南京211100 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;江苏省前瞻性联合研究项目;江苏省科技成果转化专项资金项目;中央高校基本科研业务费项目;江苏高校优势学科建设工程项目 |
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| 摘 要： | 采用磁控溅射法以石墨为靶材在玻璃衬底上沉积了类金刚石(DLC)薄膜,用原子力显微镜表征了不同氮气流量条件下生长薄膜的形貌,用拉曼光谱仪、X射线光电子能谱仪和分光光度计分析了样品的微结构、元素的价态和透光性能.结果表明:沉积的薄膜均为非晶结构.通入2sccm氮气时,薄膜的光学透过率大大提高,此时DLC薄膜内的氮元素含量为5.88%,sp3键百分比为64.65%,ID/IG值为1.81;掺氮DLC薄膜在可见光范围内光学透过率达到95.69%.随着氮气流量增加,DLC薄膜光学透过率呈现出下降的趋势.退火2h后不掺氮DLC薄膜光学透过率呈小幅度下降,而掺氮DLC薄膜的光学透过率几乎没有变化.
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| 关 键 词： | DLC薄膜 氮气流量 磁控溅射 透过率 退火 |
Effect of Nitrogen Gas Flow Rate on Properties of Diamond Like Carbon Films Prepared by Magnetron Sputtering |
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| WANG Hong-mei,LI Yu-fang,SHEN Hong-lie,ZHAI Zi-hao,CHEN Jie-yi,YANG Jia-le,YANG Yan. Effect of Nitrogen Gas Flow Rate on Properties of Diamond Like Carbon Films Prepared by Magnetron Sputtering[J]. Acta Photonica Sinica, 2019, 48(4): 104-110 |
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| Authors: | WANG Hong-mei LI Yu-fang SHEN Hong-lie ZHAI Zi-hao CHEN Jie-yi YANG Jia-le YANG Yan |
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| Affiliation: | (Jiangsu Key Laboratory of Materials and Technology for Energy Conversion,College of MaterialsScience and Technology,Nanjing University of Aeronautics and Astronautics,Nanjing 211100,China) |
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| Abstract: | WANG Hong-mei;LI Yu-fang;SHEN Hong-lie;ZHAI Zi-hao;CHEN Jie-yi;YANG Jia-le;YANG Yan(Jiangsu Key Laboratory of Materials and Technology for Energy Conversion,College of MaterialsScience and Technology,Nanjing University of Aeronautics and Astronautics,Nanjing 211100,China) |
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| Keywords: | Diamond like carbon thin film Nitrogen gas flow rate Magnetron sputtering Transmittance Annealing |
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