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责任编辑
分类号
杂志ISSN号
基于铋纳米颗粒的自由沉降法制作X射线吸收光栅
作者姓名:
雷耀虎
许桂雯
李乔飞
WALI Faiz
刘鑫
李冀
黄建衡
作者单位:
1.深圳大学 物理与光电工程学院 光电子器件与系统(教育部/广东省)重点实验室,广东,深圳,518060
基金项目:
国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;深圳市自然科学基础研究;深圳大学教师启动项目;深圳大学教师启动项目
摘 要:
利用深反应离子刻蚀技术或湿法腐蚀在硅上制作光栅结构,将与光栅浸润的液体作为载体携带铋纳米颗粒进入光栅结构内,形成致密排列,从而制作出X射线吸收光栅.致密地填充了周期为42
关 键 词:
X射线成像
吸收光栅
自由沉降
铋纳米颗粒
刻蚀
相位衬度
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