| 随机位相菲涅耳透镜阵列激光束匀化 |
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| 作者姓名： | 裴宪梓 梁永浩 王菲 朱效立 谢常青 |
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| 作者单位： | 长春理工大学 光电工程学院,长春,130022;中国科学院微电子研究所 微电子器件与集成技术重点实验室,北京,100029 |
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| 基金项目： | 国家重点研发计划;国家重点研发计划;吉林省科技攻关计划;吉林省高校十三五科研规划;科技创新基金 |
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| 摘 要： | 为降低干涉带来的影响,将一种随机位相分布引入菲涅耳透镜阵列,对阵列中每一个菲涅耳透镜施加0或π的二值化位相变化,打乱阵列位相的周期性排布,减少微透镜后多光束在匀化面干涉带来的影响.通过数值计算对激光束的匀化过程进行了模拟,设计的菲涅耳透镜口径为0.5 mm,焦距为6mm,阵列数目为20×20,光斑整体均匀度达到90%,光束能量利用率达到96%.利用设计和制备的16台阶随机位相型菲涅耳透镜阵列对1 064nm波长的激光光束进行匀化,均匀度为83%,光束能量利用率为89%.研究结果表明,通过引入随机位相可有效减少干涉带来的影响,提高微透镜阵列对单模高斯光束的匀束效果.
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| 关 键 词： | 激光束均匀化 单模高斯光束 随机位相 菲涅耳透镜阵列 干涉 |
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