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集成光波导干涉芯片的设计及特性研究
引用本文:张何丽,姜欢,张冰,任一涛. 集成光波导干涉芯片的设计及特性研究[J]. 光子学报, 2019, 48(1): 185-192
作者姓名:张何丽  姜欢  张冰  任一涛
作者单位:云南大学 物理与天文学院 物理系,昆明,650091;云南大学 物理与天文学院 物理系,昆明,650091;云南大学 物理与天文学院 物理系,昆明,650091;云南大学 物理与天文学院 物理系,昆明,650091
摘    要:运用光波导的模式理论设计了多层集成光波导干涉芯片,对芯片的光波导结构和材料参数进行优化,并制作了集成干涉芯片.借助集成芯片的波导双通道,通过干涉获得了高对比度的远场干涉条纹.在实验误差范围内,当外界环境条件发生微小变化时,干涉条纹发生移动,符合杨氏双缝干涉理论的预期.芯片对水汽、酒精的探测灵敏度约为100ppm,并具有足够的温度稳定性.该集成干涉芯片具有低浓度环境气体检测的应用前景,可为集成高灵敏气体传感器的开发提供发展平台.

关 键 词:平面光波导  干涉条纹  杨氏双缝  集成光学  玻璃

Design and Properties Approach of an Integrated Interference Chip Made by Optical Waveguides
ZHANG He-li,JIANG Huan,ZHANG Bing,REN Yi-tao. Design and Properties Approach of an Integrated Interference Chip Made by Optical Waveguides[J]. Acta Photonica Sinica, 2019, 48(1): 185-192
Authors:ZHANG He-li  JIANG Huan  ZHANG Bing  REN Yi-tao
Affiliation:(Physics Department, School of Physics and Astronomy, Yunnan University, Kunming 650091, China)
Abstract:ZHANG He-li;JIANG Huan;ZHANG Bing;REN Yi-tao(Physics Department, School of Physics and Astronomy, Yunnan University, Kunming 650091, China)
Keywords:Planar waveguide  Interference fringe  Young′s double-slit  Integrated optics  Glass
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