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近红外激光薄膜滤光片的研制
作者姓名:李候俊  徐均琪  王建  李绵  苏俊宏
作者单位:1.西安工业大学 陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,西安,710072
基金项目:陕西省国际科技合作与交流计划资助项目;西安市智能探视感知重点实验室项目
摘    要:以双抛Si片为基底,采用离子束辅助热蒸发沉积技术研制了1.2~3

关 键 词:近红外薄膜  激光损伤阈值  电场强度  离子束辅助热蒸发沉积  后续处理
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