| MSM结构ZnO紫外探测器的制备与性质 |
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| 引用本文： | 赵春雨,张吉英,王晓华,申德振,姚斌,赵东旭,张振中,李炳辉,LI Bing-hui.MSM结构ZnO紫外探测器的制备与性质[J].发光学报,2008,29(6). |
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| 作者姓名： | 赵春雨 张吉英 王晓华 申德振 姚斌 赵东旭 张振中 李炳辉 LI Bing-hui |
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| 作者单位： | 1. 长春理工大学,高功率半导体激光国家重点实验室,吉林,长春,130022
2. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,激发态物理重点实验室,吉林,长春,130033 |
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| 基金项目： | 国家重点基金
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国家重点基础研究发展规划(973计划)
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国家自然科学基金
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教育部新世纪优秀人才支持计划
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| 摘 要： | 采用射频磁控溅射在石英衬底上制备了c轴择优取向的ZnO薄膜,利用蚀刻技术制备了MSM结构的光导型紫外探测器。在3V偏压下,器件的暗电流小于250nA,光响应峰值在370nm,响应度是0.34A/W。其紫外(360nm)与可见光(420nm)的抑制比为4个数量级。器件的光响应时间上沿仅为20ns。
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| 关 键 词： | ZnO薄膜 光导紫外探测器 射频磁控溅射 |
Fabrication and Properties of ZnO MSM UV Detectors |
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| ZHAO Chun-yu,ZHANG Ji-ying,WANG Xiao-hua,LU You-ming,SHEN De-zhen,YAO Bin,ZHAO Dong-xu,ZHANG Zhen-zhong,LI Bing-hui.Fabrication and Properties of ZnO MSM UV Detectors[J].Chinese Journal of Luminescence,2008,29(6). |
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| Authors: | ZHAO Chun-yu ZHANG Ji-ying WANG Xiao-hua LU You-ming SHEN De-zhen YAO Bin ZHAO Dong-xu ZHANG Zhen-zhong LI Bing-hui |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MSM |
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