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FDTD等效入射波法分析PSTM
引用本文:简国树,王景芝,王晓秋,吴世法,潘石.FDTD等效入射波法分析PSTM[J].电子显微学报,2003,22(3):226-228.
作者姓名:简国树  王景芝  王晓秋  吴世法  潘石
作者单位:大连理工大学物理系,辽宁,大连,116024
摘    要:本文提出一种简捷有效的方法,即等效入射波法分析光子扫描隧道显微镜(PSTM)。作为验证,计算了3维情况下,形貌起伏样品和嵌埋的不同折射率样品,S和P极化情况下,等高扫描面上的场分布的PSTM图像,并与其他方法进行比较。比较表明,时域有限差分法(FDTD)等效入射波法与其他方法已有的结果符合相当好,并具有简捷,降低对吸收边界的要求,减小网格数和计算时间等优点。

关 键 词:时域有限差分法  FDTD  入射波法  PSTM  光子扫描隧道显微镜  吸收边界
文章编号:1000-6281(2003)03-0226-03

An equivalent incident wave method of FDTD for PSTM
JIAN Guo shu,WANG Jing zhi,WANG Xiao qiu,WU Shi fa,PAN Shi.An equivalent incident wave method of FDTD for PSTM[J].Journal of Chinese Electron Microscopy Society,2003,22(3):226-228.
Authors:JIAN Guo shu  WANG Jing zhi  WANG Xiao qiu  WU Shi fa  PAN Shi
Abstract:
Keywords:PSTM  numerical simulation  equivalent incident wave method
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